[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224-01] フラッシュ法および周期加熱法における黒化処理の影響

〇山藤 靖一朗¹、大槻 哲也¹、太田 弘道²、西 剛史²、細野 和也³ (1. 株式会社べテル、2. 茨城大学、3. A&R)

キーワード：Flash method、Periodic heating method、Blackening、Finite element method、Half-time method