[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224-03] 切欠き先端近傍のせん断応力場におけるシリコンの結晶すべり系と疲労損傷

杉山 裕子¹、泉 隼人¹、〇神谷 庄司¹ (1. 名古屋工業大学)

キーワード：シリコン単結晶、結晶すべり系、疲労損傷