[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-03] 偏光ラマン分光によるβ-Ga₂O₃の振動モード解析

〇田島 広太郎¹、來海 博央¹ (1. 名城大学)

キーワード：酸化ガリウム、パワーデバイス、ラマン分光法、偏光測定、半導体材料