[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-05] マイクロパターン化した自己組織化エレクトレットの電気特性に関する検討

〇李 睿宸¹、杉本 澪貴¹、川島 康介¹、田中 有弥²、山根 大輔¹ (1. 立命館大学大学院理工学研究科、2. 群馬大学大学院理工学府)

キーワード：MEMS、vibration energy harvester、self-assembled electret、simulation、COMSOL