[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-12] 機械信頼性に優れる積層銀焼成ダイボンディング技術

〇福田 涼太¹、安木 大恭、生津 資大¹ (1. 京都先端科学大学)

キーワード：銀焼成、ダイボンディング、クラック制御