[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-14] ディフューザを有するマイクロ流体デバイスの性能評価

〇松本 啓司¹、横山 奨¹、宮部 正洋¹、上辻 靖智¹ (1. 大阪工業大学)