[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-16] 物理リザバーコンピューティングへの実装を目的とした表面弾性波位相変調デバイスの開発

〇井嶋 泰貴¹、Claude Meffan¹、Amit Banerjee¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻)

キーワード：表面弾性波、リザバーコンピューティング、ニオブ酸リチウム、位相変調