[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-20] 電解エッチング法によるモリブデンマイクロマシニング技術の開発

〇橋爪 紀人¹、大石 恭徳¹、寒川 雅之¹、安部 隆¹ (1. 新潟大学大学院自然科学研究科材料生産システム専攻機械科学コース)

キーワード：モリブデン、マイクロマシニング、電解エッチング