[S114] 第29回卒業研究コンテスト (3)

[S114-19] シリカナノ粒子を担持したSi-DLC膜が発現する水潤滑特性の耐久性向上

〇Shuzo Kuzuya¹, Hiroyuki Kousaka¹, Natumine Horiba², Masataka Uchiyama¹, Toshimitsu Nakano¹ (1. 岐阜大学、2. 三友特殊精工)

Keywords:トライボロジー、プラズマ、DLC