スケジュール 0 13:00 〜 13:15 [S114-19] シリカナノ粒子を担持したSi-DLC膜が発現する水潤滑特性の耐久性向上 〇葛谷 修造1、上坂 裕之1、堀場 夏峰2、内山 正崇1、中野 敏光1 (1. 岐阜大学、2. 三友特殊精工) キーワード:トライボロジー、プラズマ、DLC