東京電子は「極高真空を造る・極高真空で計る」会社です。低ガス放出の0.2%BeCuテクノロジーをベースとして、高精度質量ガス分析計、極高真空ゲージ、低ガス放出0.2%BeCuチャンバー・配管類、NEGポンプなどのXHV（極高真空）コンポーネント、また、電子デバイスを破壊/非破壊検査をする高感度質量ガス分析装置を展開しております。ブースではXHV製品、その他コンビネーションゲージ等をご紹介します。

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