2023年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

部会セッション

[3Cp01-06] ISSP2024 pre-session - A new dawn of sputtering and plasma processes: Sputtering and Plasma Processes Division's Session

2023年11月2日(木) 13:00 〜 16:10 大会議室234 (3階)

Chair:小寺 恭介(株式会社昭和真空)、加藤 和広(三菱マテリアル株式会社)

15:10 〜 15:40

[3Cp06] Industrial implementation of HiPIMS technology

*Ivan Fernandez1 (1. NANO4ENERGY SLNE)

A description of HiPIMS technology as well as the experimental results obtained in different coating systems from a wide variety of industrial applications will be presented in this talk.

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