湿式素材プロセッシング

[PY-28] 電析Ni基合金ナノワイヤー配列素子の異方性磁気抵抗効果

^○神田隆広¹, 宮本淳平¹, 大貝猛¹ (1.長崎大学)

キーワード：電析, ニッケル, 強磁性

陽極酸化法により作製したアルミナ製メンブレンフィルターをテンプレートとして、Ni基合金ナノワイヤー配列素子を電析させた。陽極酸化条件を最適化して、45～74 nmの範囲で細孔径を制御し、細孔のアスペクト比（L/d）が1000を超える高アスペクト型のアルミナ製メンブレンフィルターを開発した。純Niナノワイヤーに比べ、Ni-Co合金ナノワイヤーでは異方性磁気抵抗値（AMR）が最大で約1.5倍程度増大した。また、Ni基合金ナノワイヤーの直径を100nm以下の領域で減少させるとAMRも若干減少する結果となった。