電気化学会第90回大会

講演情報

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S14/S19会場

S14.マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

セッション

2023年3月27日(月) 15:15 〜 16:15 S14/S19 (9号館935教室)

座長:深見 一弘(京都大学)【現地参加】

主催：ナノマイクロファブリケーション研究会

15:45 〜 16:00

[1P14(大会学生会員講演)] 次世代半導体デバイスを指向した微細メッキ技術の開発

【現地参加】

〇河田 陸大1、渡邊 みあむ1、伊田 進太郎2 (1. 熊本大学、2. 熊本大学産業ナノマテリアル研究所)