2022年6月30日(木) 13:00 〜 14:00 General Scopes of Photopolymer Science and Technology (A14)

Chairman:Masayuki Endo(Osaka University)

2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島 達夫(金沢大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月29日(水) 14:40 〜 15:50 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:神村 共住(大阪工業大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月29日(水) 15:50 〜 16:50 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:部家 彰(兵庫県立大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

2022年6月30日(木) 09:00 〜 12:10 一般講演 (B3)

座長:遠藤 政孝(大阪大学)