講演情報

一般講演

[2B3-501-04] レジスト除去、エッチング、洗浄

2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島達夫(金沢大学)、堀邊英夫(大阪公立大学)

14:10 〜 14:30

[2B3-503] 回転円盤上での液膜形成と洗浄液分布に関する三次元シミュレーション

*神保佳典¹、水嶋祐基¹、真田俊之¹ (1. 静岡大学工学部)