[2B3-508-09] レジスト除去、エッチング、洗浄

[2B3-509] レーザー照射とオゾン水処理を用いたレジスト除去技術の開発 [招待講演]

*神村 共住¹、小泉 敦司¹、岡本 光司¹、安國 良平¹、吉村 政志²、堀邉 英夫³ (1. 大阪工業大学、2. 大阪大学、3. 大阪公立大学)