27：表面・界面(液液系,固液系,気液系,気固系)-2

[H1005] プラズマを活用した新規表面改質技術の開発

○田口 貢士¹、登尾 一幸¹、山原 基裕¹、富川 弥奈¹ (1. 株式会社魁半導体)

キーワード：plasma、SAMｓ、long-term retention、surface modification