[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D7-10] ディプレッションモードGa₂O₃ MOSFET

^○東脇正高¹，佐々木公平^2,1，上村崇史¹，マンホイ ワン¹，キルシナムルティ ダイワシガマニ¹，倉又朗人²，増井建和³，山腰茂伸² (情報通信研究機構¹，タムラ製作所²，光波³)

キーワード：酸化ガリウム,Ga2O3,MOSFET