PDF ダウンロード スケジュール 14 いいね! 0 コメント (0) 15:30 〜 15:45 [6p-C21-8] ミニマルレーザ加熱装置で形成したゲート酸化膜を用いたp-MOSトランジスタのウェハ面内特性 〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱) キーワード:ミニマルファブ、レーザ加熱