09:30 〜 09:45
〇安井 大貴1、山際 翔太1、久保 寛1、井戸川 槙之介1、久保田 吉博1、河野 剛士1 (1.豊橋技術科学大学)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
09:30 〜 09:45
〇安井 大貴1、山際 翔太1、久保 寛1、井戸川 槙之介1、久保田 吉博1、河野 剛士1 (1.豊橋技術科学大学)
09:45 〜 10:00
〇田原 絵梨1、藤田 徹1、井上 健剛1、田中 正勝1、保木 力也1、井谷 直毅1、森 年史1 (1.三重富士通セミコンダクター)
10:00 〜 10:15
〇岡田 直也1、内田 紀行1、小川 真一1、金山 敏彦1 (1.産総研)
10:15 〜 10:30
〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、荒牧 正明2、津田 和城1、佐藤 和郎1、神田 健介3、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.阪府大院工、3.兵庫県立大)
10:30 〜 10:45
〇渡部 善幸1、矢作 徹1、阿部 泰1、村山 裕紀1、九里 伸治2、吉田 賢一2、指田 和之2、新井 大輔2、池田 克弥2 (1.山形工技セ、2.新電元)
10:45 〜 11:00
〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文2、町田 克之1、年吉 洋3、伊藤 浩之1、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)
11:00 〜 11:15
〇今泉 文伸1、柳田 幸祐 (1.小山高専)
11:15 〜 11:30
〇Penekwong Khemnat1、割澤 伸一1、菅谷 俊夫2、橋本 将太2、河野 行雄2、米谷 玲皇1 (1.東大院 新領域、2.東工大 未来研・電気電子系)
11:30 〜 11:45
畠垣 知弥1、熊谷 慎也2、〇佐々木 実1 (1.豊田工大、2.名城大)
11:45 〜 12:00
〇田中 佐和子1、大西 脩平1、石田 誠1、澤田 和明1、石井 仁1、町田 克之2、二階堂 靖彦3、齋藤 光正3、吉田 眞一4 (1.豊橋技科大、2.東工大、3.産業医科大、4.福岡聖恵病院)
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