[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-2] マルチTSV構造電流端子を有するMEMSロゴスキーコイル

〇渡部 善幸¹、加藤 睦人¹、矢作 徹¹、村山 裕紀¹、九里 伸治²、吉田 賢一²、指田 和之²、新井 大輔²、池田 克弥²、池田 康亮²、竹森 俊之² (1.山形工技セ、2.新電元)

キーワード：ロゴスキーコイル、MEMS、電流センサ

パワーデバイスの過電流検知を目的に、TSV構造の電流端子を有するMEMSロゴスキーコイル型電流センサを作製した（via径100µm，137ターン，チップサイズ10×10×0.3mm³）。高比抵抗のシリコン基板（＞10,000Ωcm）を用いたデバイスでTSV電流端子に通電したところ、安定した電流検知を実現した。