[19a-E304-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19a-E304-4] ミニマル深堀エッチャーとマスクアライナーによるピエゾ抵抗型圧力センサの作製

〇柳 永シュン¹、田中 宏幸^1,2、古賀 和博²、根本 一正¹、クンプアン ソマワン^1,2、長尾 昌善¹、松川 貴¹、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ