14:00 〜 14:15
[19p-Z24-3] ミニマルレーザ加熱装置を使った水素雰囲気でのSi立体構造体の表面処理
キーワード:ミニマルファブ、レーザ加熱
MEMSデバイスの基本構造であるカンチレバー構造を試作し、その立体構造に対して開発中のミニマルレーザ水素アニール装置を用い表面処理を実施し、その効果を調べた。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
14:00 〜 14:15
キーワード:ミニマルファブ、レーザ加熱