[19p-B5-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-B5-12] GaNの水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法におけるサイドエッチング特性の評価

^○（M2）蜂屋大樹，菊池昭彦 (上智大)

キーワード：GaN