[20a-D7-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[20a-D7-7] p形GaNショットキー接触における水素プラズマ処理の影響

^○青木俊周¹，吉田智洋²，末光哲也²，金田直樹³，三島友義³，塩島謙次¹ (福井大院工¹，東北大通研²，日立電線³)

キーワード：水素プラズマ処理,ショットキー接触,光応答法