[17a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17a-C101-6] Multi-Line-Beam CLC poly-Si TFTsにおけるチャネルへの不純物導入効果

〇平岩 弘之¹、グエン ティ トゥイ¹、黒木 伸一郎¹ (1.広大ナノデバイス)

キーワード：半導体、薄膜トランジスタ