[10p-Z10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [10p-Z10-10] 【注目講演】電子線照射による「液体Si→固体Si」の非加熱変換

〇森 雅弘¹、赤堀 誠志¹、富取 正彦¹、増田 貴史¹ (1.北陸先端大)

キーワード：液体シリコン, 電子線

液体Siとは常温常圧で液体、360℃加熱で固体Siになる物質である。この物質は気体Si(シラン)および固体Si(ウェハ)とは異なるアプローチからSi半導体の科学技術を切り拓く潜在力を持つ。一方で高い加熱温度(360℃)を必要とすることが、その学術展開を制約してきた。本研究では、加熱プロセスを必要としない液体Si工学を創生するために、電子線照射による非加熱での「液体Si→ 固体Si」変換を実証する。