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一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.2 電子ビーム応用

[15p-D209-1~12] 7.2 電子ビーム応用

2023年3月15日(水) 13:30 〜 16:45 D209 (11号館)

村上勝久(産総研)、石田高史(名大)

15:30 〜 15:45

[15p-D209-8] 大電流動作電子源の実現に向けたSiエミッタ上TiNコーティングの検討

〇村田博雅¹、村上勝久¹、長尾昌善¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、シリコンエミッタ