電気化学会第90回大会

講演情報

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S14/S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子

セッション１ (特別講演 / 学生講演）

2023年3月27日(月) 16:30 〜 18:00 S14/S19 (9号館935教室)

座長:近藤 英一(山梨大学)【現地参加】

主催：電子材料委員会

16:30 〜 17:00

[1U01(特別講演)] 乾式および湿式プロセスによる最先端半導体デバイス用極微細配線形成プロセスの現状

【現地参加】

〇齊藤 丈靖1 (1. 大阪公立大学)