窒素プラズマ処理した銅表面の耐湿性

講演情報

S19会場

S19.電子材料及びナノ機能素子

2023年3月28日(火) 08:45 〜 10:15 S19 (9号館935教室)

座長:上野和良(芝浦工業大学)【現地参加】

主催：電子材料委員会

08:45 〜 09:00

〇中島駿¹、柏原大輝²、上野和良^1,2,3 (1. 芝浦業大学大学院　理工学研究科、2. 芝浦工業大学、3. SIT ｸﾞﾘｰﾝｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ国際研究ｾﾝﾀｰ)