[19a-C8-1~12] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[19a-C8-3] 電子捕獲履歴現象を利用した多値ランダムテレグラフノイズの解析(II)：個々の酸化膜トラップの評価

^○土屋敏章¹，田村直義²，榊谷明仁²，園田賢一郎²，亀井政幸²，山川真弥²，桑原純夫² (島根大総合理工¹，半導体理工学研究センター²)

キーワード：RTN