[29p-A3-5] Formation of a hydrogenated amorphous silicon film by a slit-coating method
Keywords:アモルファスシリコン薄膜、スリットコート法、液体シリコン材料
Regular sessions(Oral presentation)
16. Amorphous and Microcrystalline Materials » 16.2 Processing technologies and devices
Fri. Mar 29, 2013 1:30 PM - 3:00 PM A3 (K1 2F-201)
Keywords:アモルファスシリコン薄膜、スリットコート法、液体シリコン材料