PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 0 15:15 〜 15:30 [17p-F4-6] ガスクラスターイオンビームによるRu薄膜の平坦化(I) ○(M2)山口明良1,稲葉賢二3,日野浦諒1,豊田紀章1,原謙一2,畠山望3,宮本明3,山田公1 (兵県大院工1,東京エレクトロン2,東北大未来科学技術共同研究センター3) キーワード:ガスクラスターイオンビーム,Ru平坦化,分子動力学シミュレーション