[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [18p-E13-11] GaN自立基板のサーマルクリーニング

^○（M1）岡田俊祐¹，三宅秀人¹，平松和政¹，宮川鈴衣奈²，江龍修² (三重大院工¹，名工大²)

キーワード：MOVPE,GaN,Cleaning