2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年3月18日(火) 13:00 〜 18:15 E13 (E301)

17:00 〜 17:15

[18p-E13-14] HVPE法によるScNの成長と評価

大島祐一,GarciaVillora,島村清史 (物材機構)

キーワード:HVPE,窒化スカンジウム