〇Cedric Thomas^1,⁴, Chang-Yong Lee¹, Akio Higo², Naofumi Okamoto³, Ichiro Yamashita^3,⁴, Seiji Samukawa^1,^2,⁴ (1.Tohoku Univ., 2.WPI-AIMR, Tohoku Univ., 3.Nara Inst. of Info. and Technol., 4.JST-CREST)

09:45 〜 10:00

△ [14a-A27-4] 有機膜エッチングにおける側壁保護作用の基板温度依存性

〇福永裕介¹、堤隆嘉¹、竹田圭吾¹、石川健治¹、近藤博基¹、関根誠¹、堀勝¹ (1.名大院工)

10:00 〜 10:15

△ [14a-A27-5] ハイドロフルオロカーボン（HFC）プラズマによるSiNエッチングにおける水素反応効果:分子動力学シミュレーション解析

〇(M1)村上雄一¹、礒部倫郎¹、三宅啓太¹、深沢正永²、長畑和典²、辰巳哲也²、浜口智志¹ (1.阪大工, 2.ソニー（株）)

10:15 〜 10:30

[14a-A27-6] 酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(2)

〇久保田智広¹、菊地良幸¹、寒川誠二^1,² (1.東北大流体研, 2.東北大WPI-AIMR)

10:30 〜 10:45

[14a-A27-7] シースコントロールプレートを用いた基板表面へのイオン斜入射とリップル形成

〇(D)中崎暢也¹、園部蒼馬¹、初瀬巧¹、松本悠¹、江利口浩二¹、斧高一¹ (1.京大院工)

10:45 〜 11:00

[14a-A27-8] Cl₂プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析：初期表面ラフネスの影響

〇(M1)松本悠¹ (1.京大院工)

休憩（11:00 〜 11:15）

11:15 〜 11:30

[14a-A27-9] 1/C²法によるH₂およびHeプラズマ誘起ダメージ層構造の解析

〇江利口浩二¹、深沢正永²、長畑和典²、辰巳哲也²、斧高一¹ (1.京大院工, 2.ソニー（株）)

11:30 〜 11:45

△ [14a-A27-10] 光学定数を用いたプラズマ誘起Si基板ダメージの面方位依存性

〇(B)岡田行正¹、江利口浩二¹、斧高一¹ (1.京大院工)

11:45 〜 12:00

[14a-A27-11] Cu配線Layoutに依存した新たなLow-kプラズマダメージモデル

〇池田太郎¹、江利口浩二²、谷原聡¹、山本伸彦¹、河西繁¹、斧髙一² (1.東京エレクトロン山梨, 2.京大院工)

12:00 〜 12:15

△ [14a-A27-12] マイクロ波加熱によるシリコン表面近傍のプラズマ誘起欠陥修復

〇岩井隆晃¹、江利口浩二³、山内祥平²、野呂尚孝¹、北川淳一¹、斧髙一³ (1.東京エレクトロン山梨, 2.東京エレクトロン, 3.京大院工)

12:15 〜 12:30

[14a-A27-13] ウエハ面内入射イオンエネルギー分布制御によるエッチングレート分布制御技術の開発

〇荒巻徹¹、森本未知数¹、池田紀彦¹ (1.日立ハイテク)

12:30 〜 12:45

△ [14a-A27-14] ミニマルファブ用 TSV プラズマエッチング装置におけるフッ素ラジカルの発光強度依存性

〇本村大成^1,²、高橋和貴³、笠嶋悠司¹、上杉文彦¹、安藤晃³、小木曽久人^1,²、クンプアンソマワン^1,²、原史朗^1,² (1.産総研, 2.ミニマルファブ技術研究組合, 3.東北大)

12:45 〜 13:00

△ [14a-A27-15] プラズマエッチング中の剥離パーティクルの突発的多量発生

〇笠嶋悠司¹、本村大成¹、上杉文彦¹ (1.産総研)

セッション一覧

8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[13a-P11-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[13a-P11-1] フルオロカーボンプラズマによりエッチングされたHfO₂基板最表面における化学組成分析

[13a-P11-2] HプラズマによるSi表面エッチングにおける温度依存性の解析 -バルク上・表面H拡散の影響-

[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-1] COクラスター照射による磁性体エッチング反応 (2)

△ [14a-A27-2] 透明電極材料のエッチング反応における水素ラジカル照射効果

▲ [14a-A27-3] InGaAs quantum dot fabrication by a top-down approach for optical devices applications: effect of nanoscale etching mask