09:15 〜 09:30
〇北野 卓也1、鈴木 宏明1、塩田 有波1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1 (1.金沢大)
北野 卓也
発表者・著者、共著者
2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:30 B7 (展示ホール内)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.1 プラズマ生成・制御
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
15:00 〜 15:15
〇北野 卓也1、鈴木 宏明1、塩田 有波1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1、クンプアン ソマワン2,3、原 史郎2,3 (1.金沢大、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)