一般セッション(口頭講演)
[14a-B7-1~4] 13.6 Semiconductor English Session
10:30 〜 10:45
〇Nithi Atthi1、 Shun-ichiro Ohmi1 (1.Tokyo Tech)
10:45 〜 11:00
〇Keisuke Yasuta1、 Masahiko Hasumi1、 Tomokazu Nagao2、 Yutaka Inouchi2、 Toshiyuki Sameshima1 (1.TUAT、2.NISSIN ION EQUIPMENT Co.)
11:00 〜 11:15
〇(DC)Dauksta Edvins1,2、 Vigantas Mizeikis1、 Arturs Medvids2、 Masaru Shimomura1、 Yasuo Fukuda1、 Kenji Murakami1 (1.Shizuoka University、2.Riga Technical University)
11:15 〜 11:30
〇Xianjia Luo1、 Yuichi Oshima1、 Yujin Cho1、 Takashi Sekiguchi1 (1.NIMS)