一般セッション(口頭講演)

[13p-A41-3~8] 8.8 Plasma Electronics English Session

2016年9月13日(火) 14:45 〜 16:15 A41 (国際会議室)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

14:45 〜 15:00

▼ [13p-A41-3] Effect of Width and Number of Slits in Faraday Shield on the Performance of Inductively Coupled Plasma

〇(M1)Makato Moriyama¹、 Daisuke Ogawa¹、 Ivan Ganachev^1,2、 Keiji Nakamura¹ (1.Chubu Univ.、2.Shibaura Mechatronics)

15:00 〜 15:15

〇Ayuta Suzuki¹、 Satoru Kawaguchi²、 Masaaki Matsukuma¹、 Kazuki Denpoh¹ (1.Tokyo Electron Ltd.、2.Muroran Inst. of Technol.)

15:15 〜 15:30

〇Keisuke Takashima¹、 Hideaki Konishi¹、 Keisuke Shimada¹、 Yutaka Kimura¹、 Toshiro Kaneko¹ (1.Tohoku Univ.)

15:30 〜 15:45

〇Tatsuru Shirafuji¹、 Kazuhiko Obana¹、 Shohei Kito¹ (1.Osaka City Univ.)

15:45 〜 16:00

〇(D)Hu Rui^1,2、 Xiangke Wang²、 Masaaki Nagatsu¹ (1.Shizuoka Univ.、2.CAS)

16:00 〜 16:15

〇Seiichiro Shimizu¹、 Petros Abraha¹ (1.Meijo Univ.)

一般セッション(ポスター講演)

2016年9月16日(金) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 15:30

〇Koji Nishimoto¹、 Makoto Matsui¹、 Takahiro Ono¹ (1.shizuoka Univ.)

13:30 〜 15:30

〇(PC)JunSeok Oh¹、 Tsuyoshi Kobayashi¹、 Takayuki Ohta¹、 Mineo Hiramatsu¹、 Masaru Hori²、 Masafumi Ito¹ (1.Meijo Univ.、2.Nagoya Univ.)