[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-B10-2] ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化

〇中島 涼介¹、新 良太¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：プラズマジェット、結晶化