9:45 AM - 10:00 AM
[15a-B10-4] Novel microlaser-scan-phase-transition-patterning method and its application to fabricating poly-Si TFTs on flexible glass substrate
Keywords:Thin-film transistor, polycrystalline, poly-Si, phase transition, laser
フォトマスクやレジストを使わない、新しいpoly-Si TFTの作製方法を開発した。ミクロレーザをSi薄膜上に走査してアモルファス相から結晶相へ変換させる方法で、チャネル島とゲート島を形成し、更にS/D領域へはSbスパッタ堆積後にミクロレーザで選択レーザドーピングすることで、湾曲したフレキシブルガラス基板上へpoly-Si TFTを作製した。これにより、低コストで尚且つ環境にやさしい方法で大面積基板へTFT等のデバイスをロールツーロールで形成する事が可能となる。