[5p-A204-1~9] シリコン結晶における不純物制御の科学 ～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～

[5p-A204-3] 超高温RTPウェーハのTEMによる酸素析出物の形態評価

〇須藤 治生¹、青木 竜彦¹、前田 進¹、岡村 秀幸¹、中村 浩三³、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)

キーワード：急速昇降温熱処理、酸素析出物、点欠陥

1350℃RTPウェーハにおける酸素析出物の密度と形状をTEMで観察した結果、バルク部で1×10¹¹ /cm³を超える高密度であった。また、酸素析出物の成長温度が1000℃でありながら八面体が形成されていた。その理由は、1350℃RTPによって高密度の空孔が凍結され、それが析出物周囲の歪み緩和に寄与したためと考えられた。