[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [7p-A402-17] パルスアークジェットを用いて成膜したDLC膜の基板バイアス依存性

〇(M2)藤田 至¹、近藤 勇樹¹、谷本 壮¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、羽田野 泰弘³、神谷 雅男⁴ (1.豊技大工、2.オーエスジー、3.小島プレス、4.伊藤光学)

キーワード：DLC膜、プラズマ

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は機能性膜として，広く利用されていが，従来の成膜方法で得られる成膜速度は遅く，大量生産には多大な時間が必要となる。本研究室ではDLC膜の高速成膜方法として，パルスアークジェット（PAJ）法を提案している。先行研究では，基板に対し浮遊電位で成膜処理を行っていた。しかし，DLC膜の作り分けができないという問題があった。本研究では，基板にバイアス電圧を印加することで解決を試みた。