[8a-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [8a-A411-6] X線照射によるSiO₂表面帯電の自己補償機構の解明に向けた膜厚に対する表面電位測定

〇張江 貴大^1,2、小林 大輔²、山本 知之¹、廣瀬 和之^1,2 (1.早大理工、2.宇宙研)

キーワード：チャージアップ、X線光電子分光法、表面電位