[15a-F201-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-F201-4] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(4)
-注入層における酸素が重金属のゲッタリング能力に与える影響(2)-

〇柾田 亜由美¹、仲井 敏郎¹、廣瀬 諒¹、重松 理史¹、門野 武¹、奥山 亮輔¹、古賀 祥泰¹、奥田 秀彦¹、栗田 一成¹ (1.株式会社SUMCO)

キーワード：シリコンウェーハ、炭素クラスターイオン注入、近接ゲッタリング