[15p-412-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

△ [15p-412-3] Formation and Characterization of Hydrogen-Free and Hydrogenated DLC Films

〇Toru Harigai¹, Takahiro Imai¹, Yushi Iijima¹, Yoshiyuki Suda¹, Hirofumi Takikawa¹, Masao Kamiya², Satoru Kaneko³, Shinsuke Kunitsugu⁴, Masahito Niibe⁵, Kazuhiro Kanda⁵ (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.Itoh Opt. Ind. Co., Ltd., 3.Kanagawa Ind. Technol. Cent., 4.Ind. Technol. Cent. of Okayama, 5.Univ. of Hyogo)

Keywords:diamond-like carbon, amorphous carbon, filtered arc deposition

ハードコーティング膜として利用されているダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜であるが，幅広い膜特性を有するため，目的に応じて適切なDLC膜を選択する必要がある。本研究では，フィルタードアーク蒸着法を用いて，水素フリーおよび水素化DLC膜を作製し，膜質を分析した。膜質の異なるDLC膜を作り分け，分析することで，膜密度と硬さの相関関係，および光学定数の変化傾向を明らかにした。