[17a-E206-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17a-E206-12] アモルファスゲルマニウム薄膜の不均一な結晶化

〇仲村 龍介¹、奥川 将行¹、沼倉 宏¹、石丸 学²、保田 英洋³ (1.阪府大工、2.九工大工、3.阪大工)

キーワード：アモルファスゲルマニウム、結晶化、構造解析

スパッタリングで作製したアモルファスゲルマニウム薄膜の構造が室温での時効により変化すること，そして，それに応じて結晶化挙動が変化することを見い出した．透過型電子顕微鏡による二体分布解析と，電子線照射誘起結晶化組織の結果を報告し議論する．