[20p-221C-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-221C-8] 多波回折明視野X線トポグラフィによるSiC単結晶基板中転位の同定

〇鎌本 春花¹、藤田 優¹、水落 博之¹、津坂 佳幸^1,2、松井 純爾² (1.兵県大院物質理学、2.兵県大・放射光ナノテクセンター)

キーワード：SiC、転位、X線トポグラフィ

市販SiC単結晶基板中の転位を多波回折明視野X線トポグラフィを用いて観察した。SPring-8 BL24XU B2 ハッチにて15 keV の放射光を用いた。回折ベクトル g=m₁, -m₂, -m₃で消失する転位のバーガースベクトルはb=a₁, a₂, a₃ と同定できた。また、3本の転位線のバーガースベクトルがa₁+a₂+a₃=0の関係をもちながら集合している様子が観察できた。