[21p-146-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [21p-146-14] 高温アニールしたAlNのクラック抑制と高品質化

〇上杉 謙次郎¹、林 侑介²、正直 花奈子³、永松 謙太郎¹、吉田 治正¹、三宅 秀人^2,3 (1.三重大地域イノベ推進機構、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)

キーワード：AlN、スパッタ、アニール

高効率深紫外光源実現のために高品質AlN/サファイアテンプレートが求められている。我々のグループでは、スパッタ法による成膜と高温アニールを用いて、サファイア基板上に安価かつ簡便に低転位密度のAlN膜が作製可能であることを報告してきた。今回、スパッタ成膜時の条件によってAlN膜に蓄積される応力を制御することで、高温アニールに伴うAlN膜へのクラック発生を抑制しつつ、従来以上の結晶性向上を確認した。